Wie lassen sich die häufigen Probleme des Magnetronsputterns lösen?
Aug 19, 2022| Wie lassen sich die häufigen Probleme des Magnetronsputterns lösen?
Magnetronsputtern, ein PVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition), ist das wichtigste Verfahren zur Dünnschichtabscheidung zur Herstellung von Halbleitern, Festplatten, CDS und optischen Geräten. Im Folgenden sind häufige Probleme beim Magnetronsputtern aufgeführt. Wir haben die möglichen Ursachen und zugehörigen Lösungen als Referenz aufgelistet.
● Problem eins: Film grau schwarz oder dunkel
Problem zwei: Die Oberfläche der Folie ist matt und matt
Problem drei: Die Filmfarbe ist nicht gleichmäßig
● Problem vier: Falten, Risse
Problem fünf: Die Oberfläche der Folie weist Wasserflecken, Fingerabdrücke und graue Partikel auf
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