Wie man die Leckrate des Vakuumsystems reduziert

Die Struktur des Vakuumsystems ist der Schlüssel, um die Dichtigkeit des Vakuumsystems und die Leckrate des Systems zu beeinflussen, und die Rationalität der Vakuumsystemstruktur beeinflusst direkt die Dichtigkeit des Systems und die Systemleckrate.

1. Die Rohrleitung, die mit der Vakuumkammer durch Evakuieren der Rohrleitung, Gasversorgungsrohr verbunden sind, nimmt einen Kreisbogenübergang an, um den Gasfluß ungehindert zu bilden , aber die Bequemlichkeit der Reinigung muss in Betracht gezogen werden.

2. Der Aufbau verschiedener Anschlüsse in der Vakuumkammer ist so ausgelegt, dass der Gasfluss ungehindert erfolgt und ein Verstopfen des Gasflusses vermieden wird.

3. Schleifen und Polieren der inneren Oberfläche des Vakuumsystems, je heller die Oberfläche ist, desto weniger Gasadsorption ist, und desto einfacher ist es, ein Vakuum zu erhalten.

4. Minimieren Sie das Volumen der Vakuumkammer und verkürzen Sie das Rohrleitungssystem.

Siegelauswahl

Die Dichtungsform kann entsprechend dem erforderlichen Vakuumgrad und dem tatsächlichen Arbeitsbedarf ausgewählt werden.

Nachdem die Dichtung wassergekühlt wurde, beträgt ihre Temperatur ca. 80 ° C und einzelne Teile können Temperaturen über 100 ° C erreichen. Daher sollten wir das idealere Dichtungsmaterial wählen.

Zur Vakuumabdichtung von Gummimaterialien benötigen sie neben einer glatten Oberfläche keine Kratzer, keine Risse, sondern auch eine geringe Permeabilität und Ausgasrate, eine gute Wärmebeständigkeit und Ölbeständigkeit, aber auch eine gewisse Festigkeit, Härte und Festigkeit Elastizität Warten.