Wie effektiv reduzieren Sie die Leckrate des Vakuumsystems?

Die Struktur des Vakuumsystems

Die Struktur des Vakuumsystems ist der Schlüssel, um die Dichtigkeit des Vakuumsystems und die Leckrate des Systems zu beeinflussen. Die Struktur des Vakuumsystems ist vernünftig oder nicht, was direkt die Dichtungsleistung und die Leckrate des Systems beeinflusst.

1. Vermeiden Sie das Auftreten eines toten Winkels mit einem kleinen Krümmungsradius so weit wie möglich. Sorgen Sie für einen reibungslosen Übergang, um die Bremsen beim Polieren und Reinigen zu überprüfen.

2. Die mit der Vakuumkammer verbundene Rohrleitung, wie die Evakuierungsrohrleitung und die Luftzufuhrrohrleitung, nimmt einen kreisförmigen Bogenübergang an, um den Gasdurchgang ungehindert zu machen, aber die Bequemlichkeit der Reinigung sollte in Betracht gezogen werden.

3. Die Struktur der verschiedenen Verbindungsteile in der Vakuumkammer sorgfältig gestalten, um den Luftdurchlass freizulegen und Verstopfungen zu vermeiden.

4. Schleifen und polieren Sie die innere Oberfläche des Vakuumsystems. Je heller die Oberfläche ist, desto weniger Gas wird absorbiert und desto leichter ist es, ein Vakuum zu erhalten.

5. Minimieren Sie das Volumen der Vakuumkammer und verkürzen Sie das Leitungssystem.

Dichtungsform

Die Dichtungsform kann entsprechend dem erforderlichen Vakuumgrad und den tatsächlichen Arbeitsanforderungen ausgewählt werden.

Auswahl des Dichtungsmaterials: Für ein Vakuumsystem mit einem Vakuumgrad unter 10 -3 Pa verwendet Dichtungsmaterial im Allgemeinen einen Gummidichtungsring, um die Anforderungen zu erfüllen. Allerdings unter Berücksichtigung der tatsächlichen Arbeitsbedingungen (die Vakuumkammer Temperatur kann bis zu 2300 ℃ , die Temperatur des Dichtungsteil ist etwa 80 ℃ nach Wasserkühlung, und die Temperatur der einzelnen Teile können mehr als 100 ℃ erreichen ). Daher ist die Wahl des idealen Dichtringmaterials wichtig.

Für Gummimaterialien, die zur Vakuumversiegelung verwendet werden, sind zusätzlich zu einer glatten Oberfläche keine Kratzer und keine Risse, geringe Permeabilität und Gasausstoßrate, gute Wärmebeständigkeit und Ölbeständigkeit sowie bestimmte Festigkeit, Härte und Elastizität erforderlich.

Statische Dichtungsstrukturauswahl

In verschiedenen Vakuumsystemen sind mehr als 80% der Dichtungen statische Dichtungen und der Effekt der statischen Dichtung hat einen großen Einfluss auf den Vakuumgrad und die Luftleckrate. Daher sollte die statische Dichtungsstruktur sorgfältig entworfen werden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen.

Die Konstruktion der statischen Dichtungsstruktur berücksichtigt hauptsächlich die Auswahl der Hauptdichtungsfläche, die Reduzierung des Restgases und die vollständige Ausübung der Funktion des Gummidichtungsringes.

Ob es sich um eine rechteckige Dichtungsnut, eine Schwalbenschwanzdichtungsnut oder eine trapezförmige Dichtungsnut handelt, die Rauheit des Nutgrunds wird leicht als die Hauptdichtungsoberfläche erhalten, und die Rauheit auf der Seite ist oft schwierig zu erhalten. Um Restgas zu eliminieren, wird gleichzeitig ein Durchgangsloch in der Anwesenheit von Restgas konstruiert, so dass das Innere des Systems frei ist.