Wie funktioniert die Plasma-Reinigung?

Wie funktioniert die Plasma-Reinigung?

In Plasmen erzeugtes ultraviolettes Licht ist sehr effektiv beim Aufbrechen der meisten organischen Bindungen in Oberflächenschadstoffen. Dies hilft, das Öl abzubauen. Eine zweite Reinigung erfolgt durch im Plasma erzeugten energiereichen Sauerstoff. Diese Substanzen reagieren mit organischen Schadstoffen, hauptsächlich Wasser und Kohlendioxid, die während der Verarbeitung kontinuierlich aus der Kammer entfernt (abgepumpt) werden.

Wenn das zu plasmareinige Teil aus einem leicht oxidierbaren Material (wie Silber oder Kupfer) besteht, wird stattdessen ein Inertgas (wie Argon oder Helium) verwendet. Plasmaaktivierte Atome und Ionen wirken wie molekulare Sandstrahlen und bauen organische Schadstoffe ab. Während der Behandlung verdampfen diese Verunreinigungen wieder und werden aus der Kammer abgegeben.

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