Wie werden diamantähnliche (DLC) Beschichtungen hergestellt?
Feb 07, 2023| Wie werden diamantähnliche (DLC) Beschichtungen hergestellt?
Diamantähnliche (DLC) Beschichtungen können mit einer Vielzahl von Dünnschichtabscheidungstechnologien hergestellt werden, darunter physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), ionenstrahlunterstützte Abscheidung (IBAD) und Kathodenbogenabscheidung (CAD). ) und gepulste Laserdeposition (PLD). Allen diesen Prozessen gemeinsam ist eine Vakuumumgebung, in der die hochenergetisch vorbehandelten Kohlenstoffatome bei Kontakt mit der Substratoberfläche schnell abkühlen.
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