Richtlinien für die Zielbindung
Aug 29, 2022| Richtlinien für die Zielbindung
Einer der Schlüsselparameter, die die Leistung des Sputtertargets bestimmen, ist die Integrität und Bindungsrate zwischen dem Sputtertarget und der Rückwandplatine. Diese Bindung ist für die Leistung und die Kosten des Sputtertargets sehr wichtig.
Hochwertige Zielbindung
Eine hochwertige Zielbindung ist sehr anspruchsvoll. Die Bindung muss aus einem Material mit geringem Wärmewiderstand bestehen, damit beim Einsatz die größtmögliche Kraft auf das Ziel ausgeübt werden kann, ohne dass es zu einer Überhitzung und zu Rissen im Ziel kommt. Die Hohlräume nach dem Binden müssen ebenfalls minimiert werden, um die Möglichkeit von Rissen am Ziel und ungleichmäßiger Ablagerung zu vermeiden. Die Bindung muss stark genug sein, um zu verhindern, dass sich das Ziel während des Betriebs löst, aber flexibel genug, um die Bildung von Eigenspannungen während der Bindung zu minimieren. Die letztgenannte Belastung kann dazu führen, dass das Ziel bricht. Schließlich kann die Zielbindung das Ziel und die Rückwandplatine problemlos trennen, sodass die Rückwandplatine wiederverwendet werden kann.
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