Dynamische Leckage des Vakuumsystems
Mar 31, 2025| Dynamische Leckage des Vakuumsystems
Im Vakuumsystem, in dem Bewegungsübertragung vorhanden ist, werden dynamische Dichtungen verwendet, und diese dynamischen Dichtungsstrukturen sind wahrscheinlich zum statischen Zeitpunkt und beim Leck zu langen. Beispielsweise ist die Verwendung von Gummiwellendichtungen zum dynamischen Siegel (zwischen dem Stamm und dem Ventilkörper) des Ventils anfälliger für dieses Phänomen. Die Wahrscheinlichkeit dieses Phänomens ist nicht hoch, aber da das Ventil im Allgemeinen offen oder geschlossen ist, wenn das Leck erkannt wird, ist die dynamische Leckage schwer zu erkennen. Für einen kritischen Prozess kann die Auswahl der Balgdichtungsventile die Wahrscheinlichkeit dynamischer Leckagen erheblich verringern, wenn das Ventil noch durch die Wellendichtung versiegelt wird. Wenn das Leck erkannt wird, wird das Helium gleichzeitig in die Position des Ventilstamms gesprüht, das Ventil wird betrieben, und die dynamische Leckage des Ventils kann schnell bestimmt werden.
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