Diffusionspumpe

Diffusionspumpe

   Wie wir alle wissen, ist die Öldiffusionspumpe eine Art Pumpe, die häufig in Hochvakuumsystemen verwendet wird. Die Frage ist also, was sind die Methoden? Die Verfahren sind wie folgt: Erstens hat die Wahl einer guten Leistung des Diffusionspumpenöls auf den Grenzdruck der Öldiffusionspumpe einen großen Einfluss. Wenn nein. 3 Diffusionspumpenöl verwendet wird, kann der Enddruck nur 10-5pa erreichen; Wenn 275 Silikonöl verwendet wird, kann der Enddruck 10-7 pa erreichen und der Enddruck kann um 2 Größenordnungen erhöht werden. Zweitens ändert sich auch der Partialdruck des gepumpten Gases mit der Differenz des Pumpenöls, die den Einfluss der Zusammensetzung des Pumpenöls hat. Daher muss die Öldiffusionspumpe mit guter Leistung ausgewählt werden, um ein Ultrahochvakuum zu erhalten. Wie sollten wir wählen, da das Diffusionspumpenöl so wichtig ist? Die Anforderungen an das Diffusionspumpenöl sind: das relative Molekulargewicht des Pumpenöls muss groß sein, der Dampfdruck bei Raumtemperatur muss niedrig sein, die thermische Stabilität und die Oxidationsbeständigkeit müssen gut sein, der Gefrierpunkt und die Niedertemperaturviskosität müssen niedrig sein, nicht toxisch, Korrosionsbeständigkeit, niedrige Kosten. Hochvakuum-Öldiffusionspumpe VERWENDET im Allgemeinen Nr. 3 Diffusionspumpenöl, Ultrahochvakuum USES Silikonöl, erfordert das Ultrahochvakuumsystem ohne Kohlenwasserstoffe, die Diffusionspumpe USES Fluoröl. Zweitens sollte die Verwendung einer Öldiffusionspumpe mit angemessener Backtechnologie zur Erzielung eines Ultrahochvakuumsystems bei Hochtemperaturbacken durchgeführt werden, um die Geschwindigkeit des Materials zu verringern. Materialien in der Atmosphäre können etwas Gas absorbieren und absorbieren, wenn sie im Vakuum Desorption erzeugen, Gas, das langsam freigesetzt wird, um die Desorption durch Backen zu beschleunigen.                         

Backen? Klingt einfach, nicht wahr? Nein, nein, nein, nein, nein, nein, nein, nein, nein, nein. Das Prinzip ist, dass eine höhere Temperatur besser ist, die Luft beschleunigen kann, aber auch zu prüfen ist, ob das Material der hohen Temperatur standhält. Bei der richtigen Temperatur backen. Gewöhnlich Metallmaterialien wie Edelstahl, Backtemperatur von 250 ° C - 450 ° C; Die Backtemperatur von nichtmetallischen Materialien beträgt 80 ° C - 100 ° C. Backzeit über 4h - 8h. Die Backzeit des extrem hohen Vakuums beträgt mehr als 24 Stunden. Leistung eines typischen Metallöldiffusionspumpensystems (nach dem Backen) und von Restgaskomponenten in einem Ultrahochvakuumsystem einer Metallöldiffusionspumpe. Drittens fügen Sie eine Kühlfalleinrichtung hinzu, um den Rückfluss von Pumpenöl zu verhindern, und übertragen Sie das Pumpenöl durch den Pumpeneinlassstrom auf das Phänomen des gepumpten Behälters, was als Rückfluss bezeichnet wird. Das Phänomen, dass sich Ölmoleküle entlang der Wand in den gepumpten Behälter bewegen, wird als Rückwanderung bezeichnet. Sowohl der Rückfluss als auch die Rückwanderung beeinflussen den Enddruck des Vakuumsystems. Die Kühlfalle wird häufig in Ultrahochvakuumsystemen verwendet. Sie ist zwischen dem Pumpeneinlass und der Vakuumkammer installiert und kann nicht nur den Rückfluss des Diffusionspumpendampfs und der teilweise gespaltenen Lösung effektiv erfassen, sondern auch den Dampf aus dem Dampf entfernen Vakuumkammer. Ultrahochvakuumsystem mit verschiedenen Fallen. Nach gründlichem Backen und Entgasen bei hoher Temperatur kann ein Ultrahochvakuum von 10-8 Pa ~ 10-10 Pa (oder höher) erhalten werden. Die üblicherweise verwendete Kühlfalle ist die Kühlfalle für flüssigen Stickstoff, da bei der Temperatur des flüssigen Stickstoffs der Öldampfdruck der Pumpe viel niedriger ist als die Anforderungen an das Ultrahochvakuum. Das Design der Flüssigstickstoff-Kühlfalle muss sicherstellen, dass die durch die Falle fließenden Moleküle auf die kalte Oberfläche treffen, und die Struktur muss angemessen sein. Nach der Installation der Kühlfalle für flüssigen Stickstoff wird die Pumpgeschwindigkeit der Öldiffusionspumpe um nicht mehr als 40% verringert.

Die Verringerung der Rückdiffusion von gepumptem Gas ist einer der Faktoren, die die Diffusionspumpe einschränken, um ein Ultrahochvakuum zu erhalten. Die Antidiffusion von Gas hängt mit der Molekülmasse zusammen. Je kleiner die Masse ist, desto leichter ist die Antidiffusion. Es gibt zwei Methoden, um die umgekehrte Diffusion von Wasserstoff in der Diffusionspumpe zu verhindern: Erstens den Abgasdruck am Auslass der Diffusionspumpe reduzieren, indem zwei in Reihe geschaltete Diffusionspumpen verwendet werden; Die zweite besteht darin, eine mit flüssigem Stickstoff gekühlte Titansublimationsfalle am Einlassrohr der Diffusionspumpe zu installieren, um den Antidiffusionswasserstoff aufzufangen.

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