Ölfreies Ultrahochvakuumsystem mit kryogener Pumpe

Ölfreies Ultrahochvakuumsystem mit kryogener Pumpe
Die Kryopumpe wird als Hauptpumpe verwendet, und die parallele oder serielle Molekularsieb-Adsorptionspumpe (zur Vorpump-Vakuumpumpe) wird verwendet. Das Vakuumsystem kann auch eine mechanische Pumpe als Vorvakuumpumpe verwenden, die Öldampffalle muss jedoch im Einlassrohr der mechanischen Pumpe angebracht werden.

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