Korrekter Betriebsablauf und Fehlerbehandlung der Vakuumbeschichtungsmaschine

Korrekter Betriebsablauf und Fehlerbehandlung der Vakuumbeschichtungsmaschine

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Bedienung des elektrischen Schaltschranks

1, Glasvakuumbeschichtungsmaschine offene Wasserpumpe, Gasquelle

2, öffnen Sie die Gesamtleistung

3, Wartungspumpe öffnen, Vakuummeter-Energie, Position V1 der Vakuummeter-Position, auf einen Wert von weniger als 10 warten, dann den nächsten Schritt des Betriebs eingeben. Es dauert ungefähr 5 Minuten.

4. Öffnen Sie die mechanische Pumpe und den Vorpumpen, öffnen Sie die Stromversorgung der Turbinen-Molekularpumpe und starten Sie sie. Stellen Sie das Vakuummeter auf die Position V2 und pumpen Sie, bis es weniger als 2 ist.

5. Beachten Sie, dass die Pumpe der Turbine 250 erreicht, schließen Sie die Pumpe, öffnen Sie die vordere Maschine und das Hochdruckventil, um das Vakuum weiter zu pumpen. Erst wenn das Vakuum ein bestimmtes Niveau erreicht hat, kann der Hochvakuummessgerät den Druck auf den Hochdrucksensor aufsetzen Rechts geöffnet werden, um den Vakuumgrad zu beobachten. Das Vakuum erreicht 2 10-3, bevor die Pistole eingeschaltet werden kann.

Betrieb des Elektronikgehäuses def-6b

1 Gesamtleistung

2, Vakuumbeschichtungsausrüstung, gleichzeitig geöffnet Ⅰ Pistolensteuerung und Pistolensteuerung Ⅱ Leistung: Autoglasbeschichtung gemäß der Elektronenkanonensteuerung Ⅰ Stromversorgung, Verzögerungsschalter, Verzögerung, Strom und zum Schutz des Lichts drei Minuten nach der Zeit Verzögerung und Schutz der Lichter erlösten, wenn die hintere Tür nicht geschlossen ist oder eine Fehlfunktion mit dem Stromrelais auftritt, ist der Schutz normalerweise eingeschaltet.

3. Öffnen Sie die Hochspannung, die Hochspannung erreicht mehr als 10 kV, stellen Sie den Strahl auf etwa 200 mA ein, das Vorhanggitter ist 20 V / 100 mA, der Heizstrom 1,2a, der Ablenkstrom schwankt zwischen 1 und 1,7.

Sequenz zum Herunterfahren

1. Schalten Sie den Hochvakuummesskopf und die Molekularpumpe aus.

2. Wenn 50 angezeigt wird, schließen Sie nacheinander das Hochventil, die vordere Stufe und die mechanische Pumpe. Dies dauert etwa 40 Minuten.

3. Schalten Sie die Wartungspumpe aus, wenn sie unter 50 liegt.

Häufiger Fehler der Beschichtungsmaschine und ihrer Behandlung

Das Flip-Signal der Maskenklemme kann nicht erkannt werden:

1. Überprüfen Sie die Position der Flip-Signalquelle.

2. Schließen Sie das Flip-Eingangssignal manuell kurz. Wenn kein Signal erkannt werden kann, überprüfen Sie zuerst die Schaltung und ersetzen Sie die Steuerkarte.

Instabiler Flip der Maskenklemme:

1. Prüfen Sie, ob die Ausgangsposition der Flip-Platte dem Timing entspricht.

2. Prüfen Sie, ob der Drehmechanismus flexibel und zuverlässig ist. Ein Zeigermultimeter kann zur Nachverfolgung verwendet werden.

3. Prüfen Sie, ob der Drehmechanismus flexibel und zuverlässig ist.

4. Überprüfen Sie die Einstellung der Blinkerzeiten.

5. Prüfen Sie, ob der Drehtisch mit der Innenwand der Glocke Reibung aufweist

6. Prüfen Sie die Stabilität des Drehtisches beim Drehen

In derselben Maske ist die Frequenzstreuung groß:

1. Prüfen Sie, ob der Chip selbst eine große Streuung aufweist.

2. Prüfen Sie, ob sich die Position der Filmkorrekturplatine ändert, und passen Sie die Korrekturplatine erneut an

3. Prüfen Sie, ob die Trennwand das Molybdänboot vollständig bedeckt

4. beim Öffnen und Schließen. Prüfen Sie, ob der Bombardierring das Molybdänboot bedeckt.

5. Prüfen Sie, ob das Molybdänboot die Anforderungen erfüllt

Große Frequenzstreuung zwischen POTS:

1, schauen Sie auf den Monitor, ob es ein Phänomen des Frequenzsprungs gibt

2, wiederholte Messungen und einheitliche Überwachung der Stabilität des Oszillators (nicht mehr als 75 Hz)

3 Prüfen Sie, ob das Kühlwasser frei ist

4, überprüfen, ob Molybdänbootbenutzung den Anforderungen entspricht, um das kreisförmige Molybdänboot zu übernehmen

5, Überwachung, wählen Sie, ob die Anforderungen erfüllen, empfehlen Sie die Überwachung meines Unternehmens

Beschichtungsfrequenz hört nicht auf:

1. Prüfen Sie, ob die Frequenzparameter richtig eingestellt sind

2, Molybdänboot-Amperemeter, ob ein Hinweis vorliegt

3. Befindet sich Silber im Molybdänboot?

4. Ob der Überwachungschip Frequenzspringen ist

5. Ob der Korrekturkoeffizient falsch ist

6. Ersetzen Sie das Überwachungspanel nach einem ungewöhnlichen Abzug

Frequenz nicht getestet:

1, ändern Sie das Überwachungsblatt

2, um zu prüfen, ob die Splitterverformung vorliegt

3, einfügen direkt mit einem 5-MHz-Quarzoszillatoreingangsmessfrequenz, wenn Sie Frequenzfragen geprüft haben, ohne Frequenz, Ausgangsfrequenzzähler messen Oszillatoranomalie, Beweise für den normalen Ausgangsoszillator ein Problem hat, haben einen normalen Ausgang, aber es gibt etwas falsch mit dem Computer, der auf der Display-Steuerkarte geprüft wird .

Keine Wirkung von Steuerventilen:

1. Prüfen Sie, ob die 5-V-Stromversorgung Ausgang hat und ordnungsgemäß angeschlossen ist

2. Prüfen Sie, ob das gemeinsame Ende der Stromversorgung der Halbleiterrelaisplatine über elektrische Steuerventile verfügt und nicht einzeln arbeitet

3. Prüfen Sie, ob das entsprechende Halbleiterrelais ausgegeben hat

Arbeit ohne Vakuum:

1. Abnormale Zahlen erscheinen im digitalen Vakuummeter und es gibt keine Änderung innerhalb von 30 Sekunden, z. B. das Phänomen 0,00-4 (üblich im Haushaltsvakuummeter).

2. Nachdem das Vakuummeter 30 Sekunden lang eingeschaltet wurde, oszilliert der schwarze Zeiger immer noch nicht

Überwachung nach dem Prinzip

1, Überwachungsfläche zu reinigen

2, zu überwachen mit Überzug zu verwenden, ausgesetzt mehr als 12 Stunden in der Luft ist es verboten zu verwenden

3, Überwachung und Oberflächendefekt des Verbots der Verwendung von

4, in Gebrauch Prozess, um Satzaufzeichnung zu verwenden, ist es verboten, eine Mischung aus alt und neu zu erscheinen

5, Überwachung der Lebensdauer des wiederholten ist 3 mal.