Klassifizierungen von Vakuummessgeräten
Jul 03, 2018| 1. Klassifiziert durch Vakuum-Kalibrierungsmethode
(1) Absolutes Vakuummeter: direkt den Gasdruck ablesen. Seine Druckantwort (Skala) kann durch seine eigene Geometrie oder durch die Messkraft bestimmt werden. Absolute Vakuummeter sind für alle Gase genau. Zu den absoluten Vakuum-Manometern gehören u-type Pfund-, Kompressions- und Wärmestrahlungsmessgeräte.
(2) Relativvakuummeter: Der Druck wird durch die Menge gemessen, die sich auf den Gasdruck bezieht. Es kann nicht durch einfache Berechnung skaliert werden und muss skaliert werden. Ein Relativvakuummeter besteht im Allgemeinen aus einem Vakuummessrohr (oder Messkopf), das als Sensor und Messinstrument zur Steuerung und Anzeige dient. Die Ablesung bezieht sich auf die Art des Gases. Es gibt viele Arten von relativen Vakuummessgeräten, wie z. B. Wärmeleitvakuummessgeräte und Ionisationsvakuummessgeräte.
2. Klassifizierung durch Vakuummessgerät Messprinzip
2.1. Direktmess-Vakuummeter
Diese Art von Vakuummeter misst direkt die Kraft pro Flächeneinheit, einschließlich:
(1) Statisches Füllstandsvakuummessgerät: Der Druck wird durch den Flüssigkeitsspiegelunterschied an beiden Enden des U-förmigen Rohrs gemessen.
(2) Vakuummeter für elastische Elemente: Die Oberfläche des Behälters, der mit dem Vakuum verbunden ist, wird einem Druck ausgesetzt, um eine elastische Verformung zu erzeugen. Die Größe des Druckwertes wird durch die elastische Verformung gemessen.
2.2. Indirekte Messung Vakuummeter
Wenn der Druck 10 -1 Pa beträgt, beträgt die auf die Oberfläche von 1 cm 2 wirkende Kraft nur 10 -5 N, und es ist offensichtlich schwierig, solch eine kleine Kraft zu messen. Die Druckänderung kann jedoch indirekt auf der Grundlage von Änderungen der physikalischen Größen gemessen werden, die mit dem Gasdruck bei niedrigem Druck verbunden sind. Diese Art von Vakuummeter enthält:
(1) Kompressionsvakuummessgerät: Das Prinzip besteht darin, das Boyle'sche Gesetz auf der Basis des U-Rohrs anzuwenden, das heißt, eine bestimmte Menge an zu testendem Gas wird einer isothermen Kompression unterworfen, um den Druck zu erhöhen, um so gemessen zu werden ein U-Rohr-Vakuummeter. Berechnen Sie dann den gemessenen Druck anhand der Beziehung zwischen Volumen und Druck.
(2) Wärmeleitvakuummessgerät: Es wird nach dem Prinzip hergestellt, dass die Wärmeleitung von Gas unter niedrigem Druck mit dem Druck zusammenhängt. Häufig verwendete Wärmeleitungsvakuummessgeräte sind Widerstandsvakuummessgeräte und Thermoelementvakuummessgeräte.
(3) Wärmestrahlungs-Vakuummeter: Nach dem Prinzip der Wärmestrahlung und Druck.
(4) Ionisationsvakuummessgerät: Das Prinzip, dass die Gasmoleküle durch die geladenen Teilchen unter niedrigem Druck beeinflusst und ionisiert werden, und der erzeugte Ionenstrom ändert sich mit der elektrischen Energie. Ionisationsvakuummessgeräte umfassen ein Heißkathodenionisationsvakuummessgerät, ein Kaltkathodenionisationsvakuummessgerät, ein radioaktives Ionisationsvakuummessgerät und so weiter.
(5) Entladungsröhrenindikator: Der Grad des Vakuums wird durch die Gasentladungsbedingung und die Art der Entladungsfarbe und des Entladungsdrucks gemessen und kann im Allgemeinen nur als eine qualitative Messung verwendet werden.
(6) Viskose Vakuummessgerät: Das Prinzip der äußeren Reibung wird verwendet, um den Druck zu messen. Einschließlich Membranvakuummessgerät und Magnetschwebebahn-Vakuummessgerät.
(7) Feldinduzierte Mikroskopie: Der Druck wird durch die Beziehung zwischen der Adsorptions- und Desorptionszeit und dem Druck berechnet.
(8) Partialdruckvakuumanzeige: Die Massenspektrometrietechnik wird verwendet, um den Partialdruck des Mischgases zu messen. Üblicherweise verwendete Messgeräte sind Quadrupol-Massenspektrometer, Zyklotron-Massenspektrometer und Radiofrequenz-Massenspektrometer.