Eigenschaften und Klassifizierung der Ultrahochvakuumeinheit
Mar 01, 2021| Eigenschaften und Klassifizierung der Ultrahochvakuumeinheit
Zu den Ultrahochvakuumgeräten, die über 10-5Pa arbeiten, gehören Diffusionspumpe, molekulare Pumpe Ultrahochvakuumeinheit und ölfreie Ultrahochvakuumeinheit. Das Gerät weist folgende Merkmale auf:
(1) der endwältige Vakuumgrad der Hauptpumpe ist hoch, über 10-7 x 10-8Pa;
(2) Hochtemperaturbacken von 200 bis 450 °C standhalten;
(3) Der Teildruck des Rückstromgases in der Hauptpumpe ist sehr gering;
(4) zu pumpengasselektive starke Hauptpumpe, mit einer ausreichend großen Hilfspumpe ausgestattet werden;
Die Materialaustrittsrate der Vakuumkammer, des Rohres, des Ventils und anderer Komponenten ist sehr gering, und die Luftaustrittsrate ist sehr gering.
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